手套箱厂家-伊特克斯惰性气体系统(北京)有限公司欢迎您!公司电话:400 086 8156
Atto10+1800手套箱是经过验证的一种手套箱蒸镀一体机,坚固耐用的多功能设计标准方案。该系统可以手动和自动操作,具有广泛的沉积仪器选配,包括:电子束蒸发器,射频和直流溅射源,低温有机蒸发器和金属蒸发器。还有许多系统选项可用,如 石英晶体监测,高真空负…
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产品特点:
既保证了高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,又在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。
该系统具有高真空压力和抽空时间测试。
具有先进编程能力的行业最佳软件控制系统,系统的灵活性,
可以被配置为溅射系统,电子束系统,OLED系统,热蒸发系统或这些过程的任何组合。
可以集成各种光学和光谱技术,并将系统集成到需要惰性气氛的研究手套箱中。
产品应用:
半导体工业中MOCVD技术、微电子半导体、OLED/PLED开发与生产、锂离子电池开发与生产、纳米材料研究、催化剂研究、钙钛矿太阳能电池的研发。