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晶圆传输系统

Recorder return

晶圆装载系统

整机生产国产自主化,核心零部件专利自有 300mm Load Port内关键结构与设计均为富创得自主专利,设计与生产均在富创得自有生产基地内进行。软硬件垂直整合,保证设备的标准性与一致性。

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概 要

整机生产国产自主化,核心零部件专利自有 300mm Load Port内关键结构与设计均为富创得自主专利,设计与生产均在富创得自有生产基地内进行。软硬件垂直整合,保证设备的标准性与一致性。
符合SEMI标准与通用规格的软硬件设计 整机依照SEMI E47.1、 E26 标准设计与制造,运用RS-232 HEX通信协议与对接设备通讯。也可拓展多种通讯与对接方式。
多样化的功能配置选项,适用多种工况 原厂自带的Wafer Mapping,利用自研的先进控制算法,可以实现晶圆厚片、叠片、斜片检测。可选的E84通讯协议、氮气置换等功能,满足各种现场需求。

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