描述

材料：不锈钢1.4301 (SUS type 304), 厚度 3 mm     尺寸: 1200mm(L) x 1000mm(W)   x 900mm(H)

体积

1.1 m³

前窗

面板：8 mm厚安全钢化玻璃  或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供选择)  尺寸：1123mm(L) x 839mm(H)

手套口

硬铝合金材质或聚甲醛材料 (可供选择)   口径 220 mm, O型圈密封

手套

材料：丁基橡胶       厚度：  0.4 mm 或 0.8mm(可供选择)

过滤器

出口和入口过滤器，过滤<0.3μm

照明

LED照明位于前窗顶上部

泄漏率

按照泄漏率<   0.001 vol%/h的标准进行最终验收测试

GP20气体净化系统

描述

自动去除 H2O 和 O2    ；单净化柱系统，自动再生（可选GP200双净化柱）；密闭的气体循环管路

使用电压

AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A 或 AC 115 V / 50-60 Hz, 20 A  （可供选择）

工作气体

工作气：N2、Ar 、He（纯度≥99.999%）；再生气：H2 占5%—10%，其余的为工作气（纯度≥99.999%）

真空泵

规格：旋片真空泵,  配带油雾过滤器, 带气镇控制；流量：12 m³/h (7 cfm), 真空度< 2 x 10-3  mbar（可选干泵）

循环单元

无油高速风机；风量：0 - 100 m³/h

阀门

电磁高真空阀门

泄漏率

按照泄漏率<   0.001 vol%/h的标准进行最终验收测试

控制柜尺寸

600mm（L）x 800mm（D）x 870mm（H）

清洗系统

描述

设置好相应时间和压力，系统可以对箱体自动进行气体置换。